专利摘要:

公开号:WO1989002090A1
申请号:PCT/DE1988/000523
申请日:1988-08-26
公开日:1989-03-09
发明作者:Engelbert Hofbauer
申请人:Optische Werke G. Rodenstock;
IPC主号:G02B6-00
专利说明:
[0001] - I -
[0002] Optisches System, das aus wenigstens zwei Teilsystemen besteht
[0003] Die Erfindung betrifft ein aus wenigstens zwei relativ zueinander justierbaren Teilsystemen bestehendes optisches System mit einem Justierelement mit wenigstens zwei Gleitflächen, wobei jedes Teilsystem wenigstens eine Gleitfläche aufweist, über die es an einer Gleit¬ fläche des Justierelementes anliegt und wobei jedes Teilsystem am Justierelement fixierbar ist.
[0004] Durch die DE-OS 34 33 717 ist ein Verfahren zum Koppeln optischer Bauelemente bekannt. Dabei werden zwei Teilsysteme mit einer Justiervorrichtung durch eine metallische Gefügeverbindung wie Schweißen oder Löten verbunden. Hierdurch wird in das optische System eine relativ große Wärmemenge eingebracht. Wegen des Wärmeeintrags und der MaterialVerflüssigung kann es zu unerwünschten Depositionierungen kommen. Die Verbindungsstellen zwischen den Teilsystemen und dem Justierelement sind daher möglichst weit entfernt von den optischen Bauelementen anzuordnen, so daß eine kompakte Bauweise nicht möglich ist. Eine Rotation um die1 optische Achse ist nach der Befestigung der optischen Bauelemente auf den Trägerkörpern nicht möglich. Es ist aufwendig, die beim bekannten Ver¬ fahren erforderlichen Beschichtungen aufzubringen. Außerdem sind für die Einhaltung der angegebenen Toleranzen hochgenau gefertigte Justierelemente und Trägerkörper erforderl ch. Aufgrund der nicht zylindersymmetrischen Bauweise ist die Stabilität gegenüber Temperatureinflüssen und mechanischen Schwingungen und dergleichen nicht ver¬ gleichbar mit der Stabilität zylindersymmetrischer Halterungen für optische Bauteile.
[0005] Weiterhin sind aus nur zwei Teilsystemen bestehende optische Systeme bekannt. Sie werden justiert, indem das eine, z.B. aus einem Linsensystem mit Fassung bestehende Teilsystem relativ zum weiteren Teilsystem in verschiedene Justierrichtungen bewegt wird, bis die beiden Teilsysteme eine optimale Position einge¬ nommen haben. In dieser Position werden die beiden Teilsysteme stoffschlüssig miteinander verbunden. Bevorzugt wird zur Stoffschlüssigen Verbindung ein Klebesystem verwendet, da dem optischen System beim Löten oder Schweißen relativ große Wärmemengen - zugefügt werden, die unerwünschte Depositionierungen innerhalb des optischen Systems bewirken können. Bei einer Klebeverbindung wird zwar ein Wärmeein¬ trag vermieden, jedoch schrumpfen Klebestoffe beim Abbinden. Um eine Dejustieruπg des optischen Systems durch Schrumpfung des Klebers möglichst klein zu halten, werden Klebstoffe verwendet, die beim Abbinden nur minimal schrumpfen, beispiels¬ weise um 1 % bis 2 %. Derartige Klebstoffe haben jedoch den Nachteil, daß das Abbinden relativ lange dauert. Bei bestimmten optischen Systemen kann selbst mit Klebstoffen, die nur geringfügig schrumpfen, nicht die erforderliche Justiergenauigkeit erzielt werden:
[0006] Dies ist beispielsweise bei einem optischen System, das eine Laserdiode und ein kollimierendes Linsensystem enthält, der Fall. Die Laserdiode und das kollimierende Linsensystem können in separaten Fassungen aufgenommen sein. In vielen Anwendungsfallen ist es nun erforderlich, diese beiden Teilsysteme bezüglich dreier Richtungen mit jeweils einer Genauigkeit von weniger als 1 um zu positionieren. Dazu werden die beiden aus Laserdiode mit Fassung bzw. Linsensystem mit Fassung bestehenden Teilsysteme zunächst durch Relativbewegung beider Fassungen justiert und anschließend verklebt. Nach dem Justiervorgang sind die KlebespaTtenjzwisehen den Fassungen jedoch ungleichmäßig und groß.Selbst bei Verwendung eines Klebstoffes, der nur minimal schrumpft, führt der Schrumpfprozess des Klebstoffes zu einer Dejustierung des optischen Systems. Aufgrund der Schrumpfung können die erforderlichen Genauigkeitsgrenzen daher nicht ein¬ gehalten werden.
[0007] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein optisches System der eingangs genannten Art anzugeben, das eine möglichst kompakte, stabile Bauweise ermöglicht und bei dem aufgrund seiner Gestaltung eine hohe Justier¬ genauigkeit auch nach der Fixierung der beiden Teil¬ systeme durch stoffschlüssige Verbindung gewähr¬ leistet ist.
[0008] Diese Aufgabe wird erfindungsgemäβ dadurch gelöst, daß das Justierelement die Form eines Zylinders hat und so zwischen den Teilsystemen angeordnet ist, daß die optische Achse eines Teilsystems das Justier¬ element im wesentlichen parallel zur Zylinderachse durchsetzt, wobei das Justierelement wenigstens im Bereich der optischen Achse für elektromagnetische Strahlung durchlässig ist, daß die Gleitfläche (n) eines Teilsystems eine der Form der Gleitflächen, die in der Zylindermantelfl che des Justierele¬ mentes liegen, zugeordnete Form besitzt (besitzen)," und daß an den beiden Teilsystemen und dem Justier¬ element im Bereich der aneinander anliegenden Gleitflächen Klebestellen vorgesehen sind, wobei die in der Zyl ndermantelfl che liegenden Klebe¬ stellen entlang des Zyl nderumfangs gleichmäßig verteilt sind.
[0009] Erfindungsgemäß werden die Teilsysteme mit dem Justier¬ element verklebt. Dadurch werden Depositionierungen, die auf Wärmeeintrag und Materi alVerflüssigung zurück¬ zuführen sind, vermieden. Der beim Abbinden von Klebern auftretende Schrumpf hat keine oder nur eine unbedeutende Auswirkung auf die Justiergenauigkeit. Dies ist u.a. darauf zurückzuführen, daß die Klebestellen zwischen dem an der Mantelfläche des Justierelementes an¬ liegenden Teilsystem und dem Justierelement gleich¬ mäßig verteilt sind. Durch die gleichmäßige Verteilung der Klebestellen kompensieren sich auftretende Kräfte. Gleichmäßige Verteilung der Klebestellen bedeutet beispielsweise bei einem kreiszylindrischen Justier¬ element, daß die Klebestellen entlang des Kreisum- fangs mit gleichem Abstand zueinander angeordnet sind. Bei einer geraden Zahl an Klebestellen bedeutet dies, daß sich je zwei Klebestellen bezüglich der Zylinder¬ achse diametral gegenüber liegen. Grundsätzlich ist auch eine Klebestelle, die sich z.B. entlang des gesamten Zylinderumfangs-erstreckt,„denkbar
[0010] Aufgrund der Anordnung und der Form des Justier¬ elementes ist eine kompakte, stabile, d.h. zylinder¬ symmetrische Bauweise möglich. Weiterhin ist eine Rotation eines Teilsystems gegenüber dem anderen Teil¬ system um die optische Achse möglich.
[0011] Badurch sind die Voraussetzungen geschaffen, Abbildungs¬ fehler, beispielsweise Astigmatismus, korrigieren zu können.
[0012] Bei dem vorgeschlagenen optischen System ist esrmöglich, die beiden Teilsysteme im Bereich der Stoffschlüssigen Verbindung spaltfrei am Justierelement anzulegen. Spaltfrei bedeutet, daß wenigstens der eine Ver¬ bindung bewirkende Klebstoff in ausreichender Menge zwischen die jeweiligen Gleitflächen einbringbar ist.
[0013] Die Bereiche jedes Teilsystems sowie des Justier¬ elements, in denen diese aneinander anliegen, sind als Gleitflächen ausgebildet. Diese Justierstellen sind für die jeweiligen Justierrichtungen derart gestaltet, daß durch Gleitbewegung der jeweiligen Gleitflächen aufeinander das entsprechende Maß für die jeweilige Richtung einstellbar ist. Die beiden Teilsysteme des vorgeschlagenen optischen Systems liegen nicht direkt aneinander an und besitzen keine Verbindungsstelle. Je nach Ge¬ staltung der aneinander anliegenden Gleitflächen kann ein Teilsystem gegenüber dem Just ere ement verkippt, gedreht oder verschoben werden.
[0014] Grundsätzlich kann das Justierelement selbst mehrteilig ausgebildet sein, wobei die einzelnen Teile ebenfalls an Gle tfl chen relativ zueinander bewegbar sein können. In der Regel handelt es sich bei dem Justierelement jedoch um einen starren Körper.
[0015] Da die Gleitflächen eine einander zugeordnete Form be¬ sitzen, bleibt die Spaltfreiheit zwischen den Gleitflä¬ chen auch nach Ausführung von Justierbewegungen erhalten, Aufgrund der Spaltfreiheit hat eine Volumenänderung des die stoffschlüssige Verbindung bewirkenden Materials praktisch keine Dejustierung zur folge. Beim vorge¬ schlagenen System ist somit auch nach der Fixierung der beiden Teilsysteme gegenüber dem Justierelement eine sehr hohe Justiergenauigkeit gewährleistet.
[0016] Überraschenderweise hat sich gezeigt, daß beim Fixieren durch Kleben sogar ein Klebesystem verwendet werden kann, das beim Abbinden nicht minimal, sondern durchschnittlich, d.h. um ca. lo % , oder sogar erheb¬ lich, d.h. um z.B. 14 % schrumpft, wobei die erforder¬ liche Justiergenauigkeit dennoch eingehalten wird. Somit können Klebesysteme mit sehr kurzer Abbindezeit ver¬ wendet werden. Dies ist von großer wirtschaftlicher Bedeutung: Die Teilsysteme werden z.B. mittels Mani¬ pulatoren justiert. Die Teilsysteme müssen in diesen Manipulatoren solange gehalten werden, bis nach der Justierung eine feste Verbindung der Teilsysteme mit dem Justierelement stattgefunden hat. Eine kurze Ab¬ bindezeit bedeutet daher einen entsprechend geringeren Aufwand an Mani ulatoren. Es hat sich gezeigt, daß für die Gleitflächen keine qualitativ hochwertigen Oberflächen vorzusehen sind, vielmehr reicht die durch Drehen oder optisches Schleifen erzielbare Oberfl chenqualität aus.
[0017] In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist das Justierelement als Abatscher Keil ausgebildet, wobei ein Teilsystem am plankonvexen Teil und das andere Teilsystem am plankonkaven Teil des Abatschen Keils anliegt.
[0018] Ist das Justierele eπt als Abatscher Keil ausge¬ bildet, so können die beiden Teilsysteme zusätzlich gegeneinander verkippt werden.
[0019] In bevorzugten Ausgestaltungen der Erfindung ist das Justierelemeπt ein gerader Kreiszylinder oder ein Hohlzylinder. Ist das Justϊerelement ein Hohl- zylinder, so kann eines der Teilsysteme entweder an der äußeren Mantelfliehe oder-a - er nneren -
[0020] Mantelfläche des HohlZylinders anliegen.
[0021] g
[0022] Hierbei hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn die Gleitfläche in derφrundflache des 2ylinders sowie die dieser Gleitfläche zugeordnete Gleit¬ fläche des Teilsystems kreisringförmig sind. In dieser Ausgestaltung liegt eine rotationssymmetrische Anordnung vor, d.h. die beiden Teilsysteme können gegeneinander verdreht werden. Diese Bewegungsmöglichkeit gestattet es beispielsweise, Astigraatismuskorrekturen mittels einer Zylinderlinse durchzuführen.
[0023] In einer vorteilhaften weiteren Ausgestaltung der Erfin¬ dung weist eines der Teilsysteme wenigstens drei von¬ einander beabstandete Arme mit je einer Gleitfläche auf, über die jeder Arm an einer zugeordneten Gleitfläche in der Randfläche des Just erelements an diesem anliegt. Insbesondere bei einem kreisscheibenförmi¬ gen Justierelement können die Arme an einem zylindrischen Umfangsrand eines Teilsystems angeordnet sein. Weisen die Arme einen Winkelabstand von ca. 12o auf, so kann mit drei Armen ein sicherer Halt des Teilsystems am Justier¬ element erzielt werden.
[0024] Es hat sich gezeigt, daß aufgrund einer Selbstzentrierung durch das die Stoffschlüssige Verbindung bewirkende Ma¬ terial der Radius der Gleitflächen in den Armen und der Radius der zugeordneten Gleitflächen des Justierelements nicht gleich groß sein müssen, um die erforderliche Justier¬ genauigkeit zu erreichen. Somit können das Teilsystem und das Justierelement mit den üblichen Fertigungstoleranzen hergestellt werden. - l o - P T/D 88/
[0025] Handelt es sich um ein optisches System mit einer opti¬ schen Achse, die das Justierelement durchsetzt, so ist das Justierelement in einer Ausgestaltung der Erfindung wenigstens i.n einem die,optische Achse umgebenden Be¬ reich" für elektromagnetische Str ahlung durchlässig.
[0026] In einer anderen Ausgestaltung der Erfindung hat es sich al besonders günstig erwiesen, wenn das Justierelement aus einem für elektromagnetische Strahlung, insbesondere für UV-Licht durchl ssigen Material besteht und an den Teil¬ systemen bzw. dem Justierlement Klebestellen für ein Kle¬ besystem, das durch elektromagnetische Strahlung bzw. UV-Licht aushärtbar ist, vorgesehen sind.
[0027] Durch die Verwendung von Klebesystemen, die durch UV-Licht aushärtbar sind, kann die Abbindezeit enorm kurz gehalten werden. Da das Justierelement aus UV-durchlässigem Ma¬ terial besteht, können die Klebestellen über das Justier¬ element auf einfache Weise mit UV-Licht bestrahlt und der Klebstoff ausgehärtet werden. Besonders einfach können die Klebestellen mit UV-Licht bestrahlt werden, wenn eines der Teilsysteme über drei oder mehrere Arme am Justier¬ element anliegt.
[0028] Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung ist in Unteranspruch 8 angegeben. Es handelt sich hierbei nicht nur um Materialien, die für UV Licht durchlässig sind, sondern auch um elektrische Isolatoren. Dies ist z.B. bei optoelektronischen Systemen, wie dem in Unteran¬ spruch 9 beanspruchten System aus einer Laserdiode mit einem kollimierenden Linsensystem von Vorteil, da in diesem Fall das Justierelement auch zur notwendigen Isolation zwischen Laserdiodenfassung und der Fassung des Linsensystems dient. Grundsätzlich lässt sich das erfindungsgemäße Prinzip nicht nur auf optische Systeme anwenden, sondern auch auf beliebige andere Bauteile, die zueinander exakt zu justieren und zu fixieren sind.
[0029] Im folgenden werden anhand schematischer Skizzen Aus¬ führungsbeispiele der Erfindung erläutert:
[0030] Es zeigen:
[0031] Fig. 1 ein optisches System mit einem kreiszylin¬ drischen Justierelement,
[0032] Fig. 2 ein optisches System mit einem als Abatscher Keil ausgebildeten Justierelement
[0033] In den Figuren sind übereinstimmende Bauteile mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
[0034] In der Figur 1 ist ein aus zwei Teilsystemen 1,2 be¬ stehendes optisches System im Schnitt dargestellt. Teilsystem 1 besteht im wesentlichen aus drei Linsen 4,5,6, die von einer Fassung 3 aufgenommen sind. Teilsystem 2 besteht im wesentlichen aus einer Laser¬ diode 8, die in einer Fassung 7 aufgenommen ist. Mit Bezugszeichen 9 sind Versorgungsleitungen, mit Bezugs¬ zeichen 18 das Laserelement bezeichnet. Bei der Diode kann es sich um eine Sende- oder Empfangsdiode handeln. Das aus den Linsen 4,5,6 bestehende Linsen¬ system ist eine kol limierende Optik. Die aktive Fläche der Diode 8 ist in den Brennpunkt der koll mierenden Optik zu justieren. Vorzugsweise soll der Brennpunkt der kollimierenden Optik zur aktiven Fläche der Diode genauer als 1 üm in mindestens drei Richtungen (Frei¬ heitsgraden) justiert werden. Dazu dient ein Justier¬ element lo, das zwischen den Teilsystemen angeordnet ist. Das Justierelement ist ein kreisscheibenförmiger starrer Körper, der z.B. aus GTas gefertigt ist. Ein Teilbereich der dem Teilsystem 1 zugewandten, zur Kreisscheiben¬ ebene parallelen Oberfläche ist als Gleitfläche 12 aus¬ gebildet. Diese Gleitfläche 12 hat Kreisringform. Die Umfangsrandflache des Justierelementes lo ist senkrecht zur Kreisscheibenebene orientiert. Teilbereiche dieser Randfläche sind ebenfalls als Gleitfläche 14 ausgebildet.
[0035] Die Fassung 3 des Teilsystems 1 besitzt eine zur Kreis¬ scheibenebene des Just erelementes lo parallele Oberfläche.
[0036] In dieser Oberfläche ist ein Teilbereich als Gleitfläche 11 ausgebildet. Bezüglich der mit Bezugszeichen 19 bezeich¬ neten optischen Achse des Linsensystems 4,5,6 besitzt die Gleitfläche 11 Kreisringform. Teilsystem 1 liegt über seine Gleitfläche 11 an der. Gleitfläche 12 des Justier¬ elements lo an. Die Gleitflächen 11,12 besitzen eine ein¬ ander zugeordnete Form, d.h. sie sind zueinander parallel und haben die Form eines Kreisringes mit etwa gleichem äußeren und gleichem inneren Durchmesser.
[0037] Teilsystem 2 besitzt an seinem zylindrischen Umfangsrand drei Arme 17, die einen Winkelabstand von etwa 12o aufweisen. Jeder Arm 17 besitzt eine Gleitfläche 13, über die der Arm an der zugeordneten Gleitfläche 14 in der Umfangsrandfl che des kreisscheibenförmigen Justier¬ elements anliegt. Die Gleitflächen 13 und 14 besitzen eine einander zugeordnete Form, d.h. sie besitzen in einem zur Zeichenebene senkrechten Schnitt Kreisbogenform. Die Radien der beiden Kreisbögen sind aufeinander abge¬ stimmt, d.h. in etwa gleich groß.
[0038] Dieses optische System ermöglicht nun folgende Justier¬ bewegungen:
[0039] Teilsystem 1 kann relativ zum Justierelement in einer zur Zeichenebene senkrechten Ebene verschoben werden. Außerdem kann das Teilsystem 1 gegenüber dem Justierelement lo um die optische Achse 19 gedreht werden. Aufgrund der Gleitfläche 14 des Justierelementes und der Gleitflächen 13 des Teilsystems 2 kann Teilsystem 2 gegenüber dem Justierelement lo in einer zur Kreis¬ scheibenebene senkrechten Richtung bewegt werden.
[0040] Insgesamt können somit Teilsystem 1 und Teilsystem 2 relativ zueinander in drei zueinander senkrechten Richtungen bewegt werden, d.h. die aktive Fläche der Laserdiode 8 kann optimal in den Brennpunkt der kollimierenden Optik justiert werden. In der justier¬ ten Position werden die beiden Teilsysteme 1,2 gegen¬ über dem Justierelement lo fixiert. Dazu sind mehrere Klebestellen 15,16 vorgesehen. Grundsätzlich kann jeder beliebige Klebstoff verwendet werden.
[0041] Bevorzugt findet jedoch ein Klebstoff Anwendung, der durch UV-Licht aushärtbar ist. Nach dem Aufbringen des UV-Klebstoffes wird UV-Licht über das aus Glas bestehende Justierelement a f die Klebestellen-ge¬ richtet und der Klebstoff ausgehärtet. Die GTeit- flächen 11 und 12 liegen im Bereich der Mikro- rauhigkeit aneinander an, so daß aufgrund der beim Abbinden erfolgenden Schrumpfung des Klebers keine unerwünschte -Bejustierung in Richtung senkrecht zur Zylindergrundfl che bewirkt wird, sondern auch nach der Justierung der beiden Teilsysteme eine hohe Justiergenauigkeit gewährleistet bleibt. Die Gleitflächen 13 und 14 müssen nicht unbedingt anein¬ ander anliegen, um eine Dejustierung auszuschließen, da aufgrund der konstruktiven Gestaltung eine Selbst¬ zentrierung des Justierelementes lo gegenüber dem Teilsystem 2 bewirkt wird. Wegen der Selbstzentrierung sind eventuell vorhandene Abstände zwischen einander zugeordneten Gleitflächen gleich groß.
[0042] Zusätzlich bewirkt die Anordnung der Klebestellen bei nicht aneinander anliegenden und eventuell unterschiedlich beabstandeten Gleitflächen eine Kompensierung der Kräfte, die auf den Schrumpf des Klebers zurückzuführen sind. Daher ist auch in den zur Zylindergrundfläche parallelen Richtungen auch nach der Fixierung der beiden Teilsysteme eine hohe Justiergenauigkeit gewährleistet. Im Justierelement lo ist eine im Querschnitt kreis¬ förmige Öffnung (Begrenzungsfläche 2o) vorgesehen.
[0043] Fig. 2 zeigt ein als Abatscher Keil ausgebildetes Justierelement lo. Am plankonkaven Teil 21 des Abatschen Keils ist Teilsytem 1, am plankonvexen Teil 22 des Abatschen Keils ist Teilsystem 2 be¬ festigt. Aufgrund der Verkippbarkeit ist es bei¬ spielsweise möglich, eine unsymmetrische Abstrahl¬ charakteristik einer Laserdiode zu korrigieren.
权利要求:
ClaimsPatentansprüche
1. Aus wenigstens zwei relativ zueinander justierbaren Teilsystemen bestehendes optisches System mit einem Justierelement mit wenigstens zwei Gleitflächen, wobei jedes Teilsystem wenigstens eine Gleitfläche aufweist, über die es an einer Gleitfläche des Justierelementes anliegt und wobei jedes Teilsystem am Justierelement fixierbar ist, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß das Justierelement (lo) die Form eines Zylinders hat und so zwischen den Teilsystemen (1,2) angeordnet ist, daß die optische Achse (19) eines Teilsystems (1) das Justierelement im wesentlichen parallel zur Zylinderachse durchsetzt, wobei das Justierelement (lo) wenigstens im Bereich der optischen Achse (19)für elektromagnetische Strahlung durchlässig ist, daß die Gleitfläche (n) (13) eines Teilsystems (2) eine der Form der Gleitflächen, die in^Zylindermantelflache des Justierelementes (lo) liegen, zugeordnete Form besitzt (besitzen), und daß an den beiden Teilsystemen (1,2) und dem Justierelement (lo) im Bereich der aneinander anliegenden Gleitflächen Klebestellen (15,16) vorgesehen sind, wobei die in der Zylindermantel¬ fläche liegenden Klebestellen entlang des Zylin- derumfangs gleichmäßig verteilt sind.
2. Optisches System nach Anspruch 1, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß das Justierelement (lo) ein gerader Kreiszylinder ist.
3. Optisches System nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Justierelement (lo) ein Hohlzylinder ist.
4. Optisches System nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gleitfläche (12) in der Zylindergrundfläche sowie die dieser Gleit¬ fläche zugeordnete Gleitfläche (11) des einen Teilsystems (1) kreisringfδrmig sind.
5. Optisches System nach einem der Ansprüche 1 bis 4, .dadurch gekennzeichnet, daß eines der Teilsysteme
(2) wenigstens drei voneinander beabstaπdete Arme (17) mit je einer Gleitfläche (13) aufweist, über die jeder Arm (17) an einer zugeordneten Gleit¬ fläche (14) in der Mantelfläche des Justierele¬ ments (2) an diesem anliegt.
6. Optisches System nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Justierelement (lo) als Abatscher Keil ausgebildet ist, wobei ein Teilsystem am plankonvexen Teil und das andere Teilsystem am plankonkaven Teil des Abatschen Keils anliegt.
7. Optisches System nach einem der Ansprüche 1-6, da¬ durch gekennzeichnet, daß das Justierelement (2) aus einem für elektromagnetische Strahlung, insbe¬ sondere für UV-lichtdurchlässigen Material besteht und an den Teilsystemen bzw. dem Justierelement Klebestellen (15,16) für ein Klebesystem, das durch elektromagnetische Strahlung, insbesondere UV-Licht aushärtbar ist, vorgesehen sind.
8.) Optisches System nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Justierelement aus UV-durchlässigem Glas oder UV-durchlässiger Keramik besteht.
9.) Optisches System nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, daß eines der Teilsysteme (2) im wesent¬ lichen aus einer Diode (8) mit Fassung (7) und das andere Teilsystem (1) im wesentlichen aus einem opti¬ schen System (4,5,6), insbesondere einem kollimieren¬ den optischen System, mit Fassung (3) besteht.
lo.) Optisches System nach einem der Ansprüche 1-9, da¬ durch gekennzeichnet, daß das Justierelement aus elektrisch isolierendem Material besteht.
类似技术:
公开号 | 公开日 | 专利标题
US10197925B2|2019-02-05|Optical module for a microlithography objective holding optical elements with supporting devices located in a non-equidistant manner
TW569055B|2004-01-01|Device for mounting an optical element, for example a lens element in a lens
DE60214186T2|2007-07-26|Verfahren zur Herstellung von optischen Faserkollimatoren im Array
US5861992A|1999-01-19|Microlensing for multiple emitter laser diodes
US5503590A|1996-04-02|Polishing plate for optical fiber connector ferrule end face and polishing apparatus therefor
US6198580B1|2001-03-06|Gimballed optical mount
EP1063551B1|2004-06-02|Objektiv, insbesondere Objektiv für eine Halbleiter-Lithographie-Projektionsbelichtungsanlage und Herstellungsverfahren
NL1026264C2|2007-01-04|Compacte precisiebundelmanipulatoren.
EP1015931B1|2006-03-29|Projektions-belichtungsanlage der mikrolithographie
US4030811A|1977-06-21|Device for coupling a light source to an optical fiber
JP4095283B2|2008-06-04|レーザ装置
US5111325A|1992-05-05|F-θ lens
JP3532167B2|2004-05-31|レーザー墨出し器におけるレーザーライン光照射方法および装置
KR960042566A|1996-12-21|광학픽업장치
CN100395069C|2008-06-18|光纤的激光切断法
US5862278A|1999-01-19|Laser system
CA1138236A|1982-12-28|Detachable coupling for optical fibres
EP0715200A2|1996-06-05|Taumelkorrektions- und optisch fokussierendes Element mit brechender toroidaler Oberfläche und binäre diffraktive optische Oberfläche
EP0115686A1|1984-08-15|Optische Zentrierung
US6438290B1|2002-08-20|Micro-aspheric collimator lens
US4889406A|1989-12-26|Tilt adjustable optical fibre connectors
US4290667A|1981-09-22|Optical fibre terminations and connectors
US4929054A|1990-05-29|Mounting for high resolution projection lenses
US7529046B2|2009-05-05|Optical element
KR20000005765A|2000-01-25|광학소자및호울더로이루어진부품
同族专利:
公开号 | 公开日
DE3728688C1|1989-04-27|
US4997251A|1991-03-05|
EP0382737A1|1990-08-22|
EP0382737B1|1993-11-10|
DD278880A5|1990-05-16|
引用文献:
公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
法律状态:
1989-03-09| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): US |
1989-03-09| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LU NL SE |
1989-04-25| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1988907245 Country of ref document: EP |
1990-08-22| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1988907245 Country of ref document: EP |
1993-11-10| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1988907245 Country of ref document: EP |
优先权:
申请号 | 申请日 | 专利标题
[返回顶部]